Les ingénieurs en chef territoriaux appartiennent à un cadre d'emplois supérieur, composé de trois grades dont le dernier est à accès fonctionnel. Le troisième grade de ce cadre d'emplois atteint la rémunération hors échelle D, comme pour les administrateurs territoriaux. Les lauréats du concours externe, titulaires d'un doctorat, ayant présenté une épreuve adaptée, bénéficient d'une bonification d'ancienneté de deux ans.